케이씨텍, LCD 세정장비 특허 3건 획득

케이씨텍(대표 고석태, 이순창)이 LCD 세정장비와 관련한 특허 3건을 동시에 취득했다고 14일 밝혔다.

케이씨텍 관계자는 “이번에 취득한 특허는 습식 세정장비에 사용되는 다중 슬릿형 노즐 기판세정 장치와 베스 배기장치 등 2건과 건식 세정장비에 사용되는 고체 분사노즐 1건”이라며 “이들 기술을 적용할 경우 세정능력의 효율성이 높아져 LCD 제조원가 절감 효과를 가져올 것”이라고 설명했다.

습식 세정장비에 사용될 다중 슬릿형 노즐 세정장치는 기판의 진행 방향에 따라 여러 겹으로 배치된 슬릿형 노즐이 교대로 분사해 기판을 진동시킴으로써 이물질을 효과적으로 제거하는 신기술이다. 또 베스 배기장치는 습식처리시 발생 된 이물질을 천정부에서 흡입해 기존 상·하·측면 배기방식에 비해 배기효율과 공간활용도를 극대화할 수 있다.

건식 세정장비의 고체 분사노즐은 액화 CO2 가스의 이송과정에서 마이크로튜브를 이용해 상변화를 유발, 기존에 상변화를 위해 사용한 미세홀 및 오리피스 가공작업을 없애 제작 편의성을 높이는 것이 특징이다.

장지영기자@전자신문, jyajang@