미래산업(대표 권순도 www.mirae.com)는 차세대 반도체 4개 분야(메모리, 로직, 모듈, LCD 구동칩)에 적용할 수 있는 10개 모델의 신규 장비를 개발, 출시했다고 30일 밝혔다.
10개 모델이 한꺼번에 발표되는 것은 반도체 장비업계에서 이례적인 일로, 미래산업은 천안 제2사업장에서 국내외 고객·협력업체 사장단을 초청해 발표회를 개최했다. 이 회사는 신모델 개발 과정에서 100여 종의 핵심 특허를 출원하기도 했다.
이 날 발표된 10대의 핸들러에는 0.3톤의 초소형 핸들러에서 3.5톤의 초대형 핸들러까지 포함됐으며, 최소12Para(동시에 테스트할 수 있는 칩의 개수)에서 최대 960Para까지 다양한 핸들러가 포함됐다.
미래산업은 이번에 기존 모델을 초소형·초고속의 차세대 모델로 대거 업그레이드 했다. 32/64Para인 M660, 128Para인 M300, 256Para인 M400, 320Para인 M450 핸들러로 대체했다. 또한, 512Para인 M500핸들러와 960Para인 M530의 신규 개발로 하이 Para 메모리 핸들러 라인업을 구축했다. 이 외에도 16Para 로직 핸들러인 M630, 12 Para 트라이-템프가 가능한 엔지니어링 핸들러인 M640, MR7500의 후속 모델인 M740을 개발 발표했으며, 칩온테이프 검사장비인 M920 LCD구동칩 핸들러를 개발함으로써 반도체 핸들러 분야 외에 LCD 핸들러로 영역을 확대했다.
미래산업 측은 “일반적으로 신형 장비 1대를 개발하는데 평균 1∼2년이 걸리며 수많은 고도의 메카트로닉스 기술 투입이 요구되는 핸들러업계 상황을 비추어 볼 때 10개 모델을 동시에 발표한 것은 사상 초유의 성과”라며 “이 번 개발과정에서 100여종의 핵심 특허를 출원해 관련 분야 선진 기술을 확보하는 커다란 부수적인 효과를 거둘 수 있었다”고 말했다.
문보경기자@전자신문, okmun@
