위지트, LCD 정전척 개발 합작법인 설립

　위지트(대표 김찬호 http://www.wizit.co.kr)는 LCD제조용 드라이에처와 화학기상증착장비(CVD)에 들어가는 핵심 부품인 정전척(ESC·Electrostatic Chuck) 개발을 위해 미국 바이오메디컬 첨단 세라믹 코팅업체인 APS와 합작법인을 설립하기로 했다고 6일 밝혔다.

　합작법인은 초기 자본금 80만달러(7억4000만원)로 미국의 ASP와 위지트가 각각 지분 51%와 49%를 보유할 예정이다.

　위지트 김찬호 대표는 “미국의 APS는 LCD와 반도체 정전척 하부전극 개발에 필수적인 세라믹 코팅 기술을 보유하고 있다”며 “합작법인은 인천 위지트 공장에 설립될 예정이어서 향후 연간 200억원의 수입 대체 효과를 낼 수 있을 것”이라고 말했다.

　위지트는 이번 합작법인을 통해 15년간 APS가 아시아 지역에서 진행하는 기술개발과 사업 활동에 협조하고, 각 사업 부문에서 APS의 세라믹 코팅 기술을 전수받게 된다.

　위지트는 이에 앞서 LCD용 CVD공정에서 반응가스를 균일하게 확산시키는 디퓨저(Diffuser), LCD 유리의 온도를 균일하게 유지시켜주는 서셉트(Suscept) 등을 국산화해 패널업체에 공급중이다.

　한편 LCD 드라이에처와 CVD 공정에서 LCD기판을 자기장으로 고정시켜 주는 정전척은 올해 엔트로피(대표 김문환)가 일본 도쿄일렉트론에 이어 세계 두 번째로 개발한 바 있다.

　장지영기자@전자신문, jyajang@