장비부품 속속 국산화…`겉만 한국산` 오명 씻어

　반도체·LCD 제조장비에 들어가는 핵심 부품이 속속 국산화되고 있다. 핵심 부품의 국산화는 지금까지 ‘껍데기만 한국산’이라는 비판을 받아온 국산 장비 개발의 한계를 극복하는 것이어서 주목된다.

　28일 업계에 따르면 엔트로피·이지트·쎄미시스코·코미코 등 국내 중소 부품업체들이 그동안 일본·미국 등 해외 업체들이 과점해온 반도체·LCD장비용 주요 부품을 잇따라 개발, 시장공략에 나섰다.

　특히 이들은 국내외 장비업체와 소자·패널업체 등에 국산 부품을 공급해 수백억원대의 수입대체 효과를 거두는데 그지치 않고 대만·일본 등 해외시장 공략도 적극 추진하고 있다.

　엔트로피(대표 김문환)는 올해 국책사업으로 LCD제조용 드라이에처와 화학기상증착장비(CVD)에 들어가는 핵심 부품 정전척(ESC, Electrostatic Chuck)을 개발, 국내외 장비업체에 공급중이다. 정전척은 드라이에처와 CVD 공정과정에서 LCD기판을 자기장으로 고정시켜 주는 부품으로 지금까지 일본 도쿄일렉트론이 시장을 독점해왔다. 현재 반도체 장비용 정전척까지 개발중인 이 회사는 대만 시장공략을 위해 1800평 규모의 현지 생산공장을 건설하고 있다. 이 회사 관계자는 “정전척은 한 개에 1억5000만원 이상 판매되는데다 시장진입 장벽이 높아 영업이익률이 30%에 달한다”고 소개했다.

　쎄미시스코(대표 이순종)는 드라이에처, 플라즈마 CVD(PE CVD) 등의 플라즈마 공급 시점을 조절해주는 신개념 부품 ‘스마트EPD’를 개발, 미국 베리티가 독점해온 시장을 공략중이다. 이순종 사장은 “내년에는 빛, 화학 약품 등의 다양한 신호를 입체적으로 분석해주는 3.5세대 개념의 ‘스마트EPD’를 출시, 대만·일본 수출을 적극 추진할 계획”이라고 말했다. 뉴파워프라즈마(대표 최대규)는 반도체 박리장비(Asher) 챔버 세정에 사용되는 플라즈마 발생장치인 ‘RPG Reactor’를 세계 두 번째로 개발, 지난해 말 이를 이용한 300㎜용 박리장비를 선보이기도 했다.

　이밖에 코미코(대표 전선규)는 지난 해말 국내 최초로 세라믹코팅의 반도체 장비용 정전척을 개발했으며, 위지트(대표 김찬호)는 반도체 부품업체 원일시스템과 합병한 뒤 LCD용 CVD공정에서 반응가스를 균일하게 확산시키는 디퓨저(Diffuser), LCD 유리의 온도를 균일하게 유지시켜주는 서셉트(Suscept) 등을 개발해 패널업체에 공급하고 있다.

　김광선 반도체·디스플레이 장비학회 회장은 “CVD·드라이에처 등 전공정 장비가 국산화됐다고 하지만 가스 공급에 쓰이는 핵심 부품인 MFC의 경우 100% 수입에 의존할 정도”라며 “향후 반도체·LCD 생산시설이 중국 등으로 이전할 때를 대비해 장비 부품 국산화가 빠르게 진행돼야 국내 장비업계의 수익이 보장될 것”이라고 지적했다.

　장지영기자@전자신문, jyajang@