S-LCD 라인에 건식 식각장비 공급

　　아이피에스(대표 장호승 http://www.ips-tech.co.kr)는 LCD 공정용 건식 식각 장비를 S-LCD에 공급했다고 18일 밝혔다. 계약 금액은 77억4000만원이다.

　삼성의 LCD 라인에 국내 건식 식각장비가 공급된 것은 이번이 처음이다.

　건식 식각 장비는 회로 형성 후 남은 불필요한 부분을 제거하는 장비로 노광장비·화학기상증착장비·코팅장비와 함께 LCD의 4대 핵심 전공정 장비이다.

　그동안 외산 업체들이 시장을 주도해 왔으며 이번에 아이피에스의 신규 공급에 따라 LG필립스LCD에 납품하는 에이디피엔지니어링과 함께 건식 식각 장비의 국산 시대가 열리게 됐다.

　아이피에스는 반도체 공정용 원자층증착장비(ALD)와 태양전지 기판 생산 장비 등을 생산하고 있으며 이번에 LCD 장비로 영역을 확장하게 됐다.

　 한세희기자@전자신문, hahn@