[다시 뛴다! 반도체 코리아]장비-초일류 반도체 버팀목 `우뚝`

　초일류 반도체 뒤에는 초일류 반도체 장비가 있다.

　한국 반도체 산업이 세계 정상에 오르면서 반도체 장비 분야 역시 세계 일류를 향한 도약에 본격적으로 나서고 있다.

　세계 최고 한국 반도체 라인에는 세계 일류 제품만 적용한다. 이 라인에 들어가는 국내 장비들도 역시 일류다. 이미 상당수 공정 장비가 국산화됐고 노광·식각·화학기상증착(CVD) 등 핵심 전공정 장비도 국산 제품이 양산 라인에 속속 적용되고 있다. 차세대 반도체 라인에 쓰이는 신개념 장비도 소자 업체와 장비 업체의 협력 속에 국내에서 개발이 진행중이다.

　부품소재나 기계와 같은 다른 모든 후방 산업과 마찬가지로 1990년대 이전 국내 반도체 장비 산업 역시 일천한 수준이었다. 과감한 투자와 저돌적인 연구 개발로 반도체 소자 분야는 극적인 발전을 이루었으나 이에 비례해 장비·재료 분야의 해외 의존은 심해졌다. 급격한 도약의 대가인 셈이다.

　지난해 국내 소자 업체의 반도체 장비 수요는 5조3000억원 정도, 반면에 국내 장비생산은 1조3000억원 정도인 것으로 추산된다. 아직 갈길이 먼 셈이다.

　그러나 국내 장비 업계의 발걸음은 점점 빨라지고 있다. 소자 업체들도 생산량이나 공정 기술 측면에서 전인미답의 경지를 개척하면서 독자 기술의 필요성을 절감하고 국내 업체와 현지에서 문제를 해결하고 싶어한다. 장비 업체들이 세계 수준으로 도약할 수 있는 절호의 기회를 맞은 것이다.

　전공정 장비 중 CVD와 세정 장비 등은 국내 업체가 시장을 주도하고 있다. 식각 장비도 국산 제품이 등장하기 시작했으며 미세회로 공정에 적합한 원자층증착(ALD) 장비 같은 신개념 장비도 국내 업체들이 먼저 시장에 진입했다. 후공정 장비도 본더·웨이퍼번인테스터 등을 시작으로 주검사 장비 분야까지 착실히 도전의 폭을 넓혀가고 있다.

　한세희기자@전자신문, hahn@