뉴파워, 대면적 플라즈마 소스 개발

　뉴파워프라즈마(대표 최대규 http://www.newpower.co.kr)가 LCD 공정용 대면적 플라즈마 소스를 개발했다고 2일 밝혔다.

　이 회사는 지난해부터 페라이트 코어를 사용한 ICP 소스의 대면적화 연구를 진행, 2000㎜ 폭에서도 플라즈마의 밀도와 균일도를 확보할 수 있는 플라즈마 소스를 개발했다. 이에 따라 7세대 이상 대형 LCD 공정 장비에 ICP 플라즈마 소스를 적용할 수 있게 될 전망이다. 이 회사는 LCD 세정장비 등에 이 기술 적용을 검토하고 있다.

　ICP 방식은 여러 개의 소스 모듈을 직·병렬로 연결할 수 있어 기존 축전결합형플라즈마(CCP) 방식에 비해 확장성이 좋고 대기압에서도 성능을 발휘할 수 있다고 회사 측은 설명했다.

　회사 관계자는 “ICP 방식은 플라즈마 밀도가 높아 강력한 에너지를 낼 수 있고 확장성이 좋아 LCD 기판 크기 변경 등의 환경 변화에도 쉽게 대응할 수 있다”고 말했다. 한세희기자@전자신문, hahn@