심우(대표 이준수 http://www.simwoo.co.kr)는 대만 LCD 제조업체로부터 7.5세대용 선폭 측정기능을 포함한 복합검사기 및 얼룩 검사장비(사진·모델명 COMBI-Macro·Micro 7500)를 수주했다고 1일 밝혔다.
이 장비는 LCD 생산 라인상에서 발생되는 여러 가지 결함 중에서 표면에 육안으로 확인할 수 있는 정도의 크기와 전면에 걸쳐 광범위하게 발생되는 매크로 유형의 결함을 특수 조명을 이용해 검사하는 장비다. 특히 매그로 리뷰용 줌 카메라를 탑재해, 2.5배에서 최대 32배까지 확대해 검사가 가능하다.
심우는 현재 대만의 컬러필터 전문업체로부터 5세대용 반송시스템을 일괄 수주해 설치 중에 있다. 그 동안 이 회사는 LCD 반송분야에서는 일본의 히라타와 공동으로 진행해 왔으며, 이번 일괄 수주를 계기로 LCD 반송시스템분야 공략을 본격화할 수 있을 것으로 기대된다.
심우는 일본 LCD 제조업체에 8세대 건식세정기 24대를 납품하는 등 대만·중국·일본 등의 주요 패널 생산업체를 고객으로 확보해 전체 매출 가운데 80% 이상을 수출하는 기업이다.
심규호기자@전자신문, khsim@
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