에이디피엔지니어링, 플라즈마처리장치 특허 취득

　에이디피엔지니어링(공동대표 허광호·이영종 http://www.adpeng.co.kr)은 플라즈마 처리장치와 관련된 특허를 취득했다고 22일 밝혔다.

이 기술은 플라즈마 처리장치에서 감시창과 공정 챔버의 사이에 감시창을 전·후·좌·우 방향으로 회동하게 하는 이동수단을 구비해 검사자가 공정 챔버 내부를 효율적으로 검사할 수 있는 특징이 있다.

에이디피엔지니어링은 약 2000만원을 투자해 이 기술을 개발했으며 차세대 LCD 제조장비의 경쟁력 강화에 활용할 계획이다. 심규호기자@전자신문, khsim@