네오폴리, 차세대 고성능 폴리 실리콘 TFT 양산기술 개발

　서울대학교 학내 벤처인 네오폴리 (대표 주승기 재료공학부 교수)는 금속유도측면 결정화 기술(MILC: Metal Induced Lateral crystallization)을 이용하여 차세대 LCD 및 OLED 생산에 적합한 고성능 폴리(다결정) 실리콘 TFT의 양산화 기술을 개발하는데 성공했다고 1일 발표했다.

주승기 교수는 10년전인 1995년도에 금속유도측면 결정화 기술을 발표했으나 높은 누설 전류로 인해 산업화에 문제가 있던 것을 이번에 해결해 선보이게 됐다.

　이 기술은 금속 촉매를 비정질 실리콘 유리 기판에다 바른 후 고열을 가함으로써 유리 내에 전자 배열을 바꿔주게 된다. 이번 제품은 누설전류가 피코 암페어(피코는 10의 마이너스 12승) 수준이며 이동도는 비정질실리콘(a-Si)에 비해 200배 개선된 100 cm2/Vsec로 이동 TV인 DMB용 디스플레이나 능동형 유기발광다이오드(AMOLED)와 같은 첨단 디스플레이 소자 제작에 적용 가능하다.

네오폴리는 휴대폰용 QVGA(320x240)급 풀컬러 저온 폴리 TFT- LCD 디스플레이 패널 제작에 성공했으며 최근 성능 개선 작업을 진행중이다. 주 교수는 “OLED나 고성능 LCD용으로 사용되는 저온폴리(LTPS)를 제작하기 위해서는 비정질(a-si) 실리콘을 결정화하는 공정이 필요하나 기존 레이저 방식으로는 한계가 있었다”며 “이번 기술과 관련해 중국과 대만 기업들이 많은 관심을 나타내고 있다”고 밝혔다. 주승기교수는 지난 10여 년간 MILC 관련 200여 편의 논문 발표를 비롯하여 100여건의 국내외 특허를 출원 및 등록한 바 있으며, 2000년 11월에는 1995년 세계 최초로 발표된 MILC-TFT 제작에 관한 논문으로 SCI 주관사가 주최하는 ISI Citation Award(가장 많이 인용된 논문에게 주는 상)를 수상하기도 하였다.

유형준기자@전자신문, hjyoo@