스웨즈락, 반도체 공정용 ALD 밸브 출시

　반도체 부품업체인 미국 스웨즈락반도체서비스(SSCC)가 원자층증착장비(ALD)용 밸브<사진>를 출시한다고 서울 플루이드 시스템 테크놀로지스(대표 조문순 http://www.seoulfst.com, 스웨즈락 한국 사무소)가 26일 밝혔다.

이 밸브는 동작속도가 5밀리세컨드 (ms, 1/1000초)로 매우 빠르고 2500만 번 이상의 사이클 수명을 제공한다. 또 유량 세팅(Flow Setting) 기술을 이용해 프로세스 가스를 일정하게 전달 할 수 있다.

심규호기자@전자신문, khsim@