중기진흥공단·세우산전, 원통형 리니어모터 국산화 추진

상하 직선운동을 하는 원통형리니어모터 국산화가 추진된다.

　중소기업진흥공단 모터응용 기술팀(팀장 김중교)은 리니어모터업체인 세우산전과 공동으로 반도체 및 LCD 제조공정에서 초정밀 수직운동을 수행할 원통형 리니어모터 개발에 착수했다고 9일 밝혔다.

원통형리니어모터는 평면에서 좌우로 직선운동을 하는 리니어모터를 상하운동을 하도록 세운 형태로 반도체공정에 주로 쓰인다. 원통형리니어모터를 이용해 직각운동을 하면 평판형 리니어모터를 이용하는 것과 같은 속도에서 2배 이상 정밀도가 높은 것으로 알려졌다.

그러나 일본의 일부 업체들만이 원통형 리니어모터를 개발, 국내 반도체나 LCD 제조 장비업체들은 이를 전량 수입, 사용해왔다.

김중교 팀장은 “원통형 리니어모터를 이용하면 정밀 제어는 물론 냉각제를 최소화할 수 있어 기계가공산업에서 환경 친화적인 청정생산도 가능해진다”라며 “원통형 모터 국산화를 적극 추진할 계획”이라고 말했다.

　 문보경기자@전자신문, okmun@