주성 하이닉스 유진 공장에 ALD장비 공급

주성엔지니어링(대표 황철주)이 하이닉스 반도체 미국현지 법인에 원자층증착장치(Atomic Layer Deposition) 1대 공급 계약을 체결했다고 22일 밝혔다.

주성은 지난 2월부터 4월 현재까지 하이닉스 반도체와 200mm용 원자층증착장치 3대 및 화학기상증착장치(CVD) 1대의 공급계약을 체결하였으며, 이번에 하이닉스와 5번째로 공급계약을 체결한 원자층증착장치는 200mm웨이퍼용 세미 배치 타입으로 4월 중에 하이닉스 미국 유진 공장에 설치될 예정이다.

주성측은 “올해 공급키로 한 장비 9대 중 원자층증착장치만 하이닉스 반도체에 4대, 일본의 메모리 업체 및 대만의 파운드리 업체에 각각 1대씩 공급됐다”며 “이 분야에서 50%의 점유율을 목표로 하고 있다”고 밝혔다.

<유형준 기자 hjyoo@etnews.co.kr>