에프에스티, LG마이크론에 LCD포토마스크용 대구경 펠리클 인증 받아

　펠리클 및 칠러 생산 업체 에프에스티(대표 장명식)는 최근 신규 개발한 LCD 포토마스크용 대구경 펠리클의 고객 제품 인증을 LG마이크론으로부터 받아 2세대 330×450 사이즈 펠리클(1550만원어치)을 비롯, 5세대 520×800 사이즈(1억4600만원), 6세대 800×920 사이즈(1억2500만원)를 3월까지 납품하기로 했다고 21일 밝혔다.

　펠리클은 반도체 사진 식각 공정에 필수적으로 사용되는 포토마스크 보호용 박막이다.

에프에스티 관계자는 “그동안 세계에서 일본 아사히카세이(AKE)가 독점 공급하던 펠리클의 국산화에 성공, LCD용 대구경 펠리클의 생산이 본격화된 것에 의의가 있다”며 “올해 이 분야에서 매출 120억원과 시장점유율 30%가 목표”라고 말했다.

이 회사는 LG마이크론에 대한 공급량을 계속 늘이는 한편 또다른 포토마스크 업체인 피케이엘과도 테스트를 진행, 4월부터 납품할 예정이다.

이 회사는 올해 반도체용 펠리클과 반도체 생산 장비용 온도 조절 장치 칠러에서 각각 100억원 등 총 420억원의 매출을 목표로 하고 있다.

<한세희기자 hahn@etnews.co.kr>