주성엔지니어링, 일본에 원자층 증착장비 수출

　그동안 대부분 수입에 의존해왔던 반도체 전공정 장비가 세계 최고의 장비 기술력을 자랑하는 일본에 역수출된다.

반도체 및 LCD장치 전문업체인 주성엔지니어링(대표이사 황철주)은 나노급 소자제작에 필수적인 최첨단 300mm용 원자층 증착 장치(ALD 시스템 / 모델명 사이클론)를 세계적인 일본 소자업체에 3월 15일 출하했다고 밝혔다.

ALD시스템은 나노급 반도체를 제작하기 위해 필수적인 불순물을 최대한 억제하면서 균일한 두께로 박막을 형성할 수 있는 반도체 장비로 최근부터 사용되기 시작했다.

주성의 사이클론은 300mm 웨이퍼를 동시에 4장 처리할 수 있는 챔버 2개로 구성되어 있으며 200mm 및 300mm 대응이 가능하다. 이 제품은 지난달 하이닉스 양산라인에 2대가 공급된 바 있다.

황철주 주성 사장은 “이번 제품이 고품질 박막 형성이 가능할 뿐만 아니라 기존 1장씩 웨이퍼를 처리하는 매엽식 ALD장치의 양산성 한계를 비약적으로 개선했다”며 “특히 이번에 일본 소자업체에게 공급됨으로써 일본내 다른 회사 및 다른 지역의 소자업체로의 파급 효과 및 향후 장치 공급의 기틀을 마련하게 됐다”고 설명했다.

이번 제품의 공급가격은 450만달러 정도로 알려졌으며 테스트가 완료되는 내년에 대금을 받게 된다. 주성의 한 관계자는 “이번에는 테스트 측면이 강하며 테스트가 완료되면 본격적인 수주 물량을 받을 수 있을 것으로 예상한다”고 설명했다.

ALD 장비는 지너스, 동경일렉트론 등이 최근에야 제품을 출시해 시장 선점 경쟁이 치열하며 국내에서는 주성외에도 아이피에스 등이 관련 제품을 이미 출시하는 등 국내업체들의 선전이 두드러지는 분야다.

<유형준 기자 hjyoo@etnews.co.kr>