라셈텍, 하이닉스 등에 칠러 공급

　라셈텍(대표 윤배원 http://www.lasemtech.com)은 하이닉스반도체와 크레이든인트라퍼시픽사에 각각 10억7000만원과 2억원 규모의 반도체 자동온도조절장비(칠러) 공급계약을 채결했다고 11일 밝혔다. 이는 지난해 매출의 약 19%를 차지하는 액수다.

　한편 이 회사의 주력 제품인 칠러는 반도체 제조 공정 중 화학적 또는 물리적으로 식각할 때 체임버 내에서 발생하는 열을 제어하여 양질의 웨이퍼를 생산하기 위한 자동온도 조절장치다.

　<손재권기자 gjack@etnews.co.kr>