국내외업체 RF제너레이터 시장 경쟁 치열

　반도체 제조공정 중 플라즈마(Plazma)를 사용하는 에칭, 화학적기상증착(CVD), 스퍼터 공정에서 플라즈마를 발생시키는 고주파 전력 공급기인 RF제너레이터 시장을 두고 국내외 업체간 경쟁이 치열하다.

　30일 관련 업계에 따르면 에이에스이, 뉴파워프라즈마, 영신알에프 등이 각각 독자 기술로 RF제너레이터 개발에 성공한데 이어 올해 200억원대로 성장한 국내 시장을 두고 국내외 업체간 수주 경쟁을 벌이고 있다.

　이같은 경쟁은 플라즈마 제조기술의 중요성이 부각되고 있기 때문. 0.18미크론(㎛)공정에서 최근 90나노미터(nm)까지 선폭이 급속도로 미세화됨에 따라 습식 에칭보다 고주파 플라즈마 애칭 및 증착 기술이 요구되자 전원장치(RF제너레이터)의 필요성도 커지고 있는 것.

　업계 관계자는 “기존 장비는 반도체 제조장비 1대당 하나의 진공 챔버로 이루어져 하나의 RF제너레이터를 필요로 했으나 최근의 반도체 제조장비는 1대당 3∼5개의 진공챔버로 구성돼 쓰임새는 갈수록 늘어날 것”이라고 설명했다.

　에이에스이(대표 김성천 http://www.ase-semi.com)는 국내 최초로 국산화에 성공한데 이어 시장 성장에 따라 현재 16∼18%에 이르는 시장 점유율을 25%(미국 AE사 수준)까지 끌어올린다는 목표다. 올해 매출은 지난해 80억원보다 24.1% 증가한 약 100억원을 기록할 전망.

　회사측 관계자는 “장기간 가동에도 일정한 주파수와 출력, 반사파 흡수능력을 유지하기 위한 기술을 핵심 기술로 보고 특히 300mm 웨이퍼용 사이드 플라즈마 에칭 장비 개발에 주력할 계획”이라고 말했다.

　뉴파워프라즈마(대표 최대규 http://www.newpower.co.kr)는 그동안 축적된 기초기술을 바탕으로 매출 확대에 주력한다는 계획이다.

　이 회사 위순임 이사는 “플라즈마 기반기술부터 제너레이터 기술까지 확보하고 있는 것이 중요한 동력이 되고 있으며 장비 회사뿐만 아니라 소자업체들을 상대로 영업을 펼 계획”이라고 말했다.

　이 회사는 올해 매출목표를 지난해보다 100% 증가한 80억원으로 잡았다.

　영산알에프(대표 서영철 http://www.rf-gen.com)는 국내 연구개발(R&D)센터, 연구소, 대학 등 틈새 시장을 노리고 있다.

　이 회사는 플라즈마 수요 증가로 최근 실험실 등에서 연구개발용으로 사용이 급증함에 따라 5kw∼20kw급 고출력 장비를 저가로 계속 선보인다는 계획이다.

　<손재권기자 gjack@etnews.co.kr>