국제엘렉트릭코리아, 삼성전자에 장비 공급

　국제엘렉트릭코리아(대표 장재영 http://www.kekorea.co.kr)는 삼성전자와 반도체 제조장비 수주계약을 맺고 73억8000만원 상당의 300㎜전용 종형확산로(diffusion furance) 및 저압화학기상증착기(LP-CVD) ‘퀵스에이스’를 공급키로 했다고 30일 밝혔다.

　이번에 삼성전자에 공급키로 한 ‘퀵스에이스’는 국제엘렉트릭이 지난달에 개발 완료한 제품으로 한번에 처리할 수 있는 웨이퍼 수를 기존 100장에서 50장으로 줄인 대신 고속 반송기를 적용, 최대 5시간이나 소요되던 웨이퍼 처리시간을 1시간 가까이 줄여 생산성을 크게 향상시킨 것이 장점이다.

　이 장비는 삼성전자가 구축중인 300㎜ 전용팹 12라인 2단계 양산라인에 반입될 예정이다.

　이에 따라 국제엘렉트릭은 삼성전자 12라인 1단계 설비투자에 120억원의 수주실적을 올린데 이어 2단계 투자에서도 현재까지 총 160억원의 누적 수주실적을 기록했다.

　회사측은 “확산장비와 저압화학기상증착기는 웨이퍼 표면에 다양한 화학물질을 입히는 과정을 반복해야 하는 반도체 제조공정에서 용도가 폭넓은 장비 가운데 하나”라며 “우리기술로 핵심장비를 개발, 양산라인에 바로 적용하게 된 것은 매우 의미가 깊다”고 말했다.

　한일합작법인 국제엘렉트릭코리아는 지난 2000년 저압실리콘 산화막장비 개발을 시작으로 지난해 6월에는 루테늄 화학기상증착기(Ru-CVD)를, 12월에는 원자층 증착기(ALD)를 개발한 바 있다.

　<장지영기자 jyajang@etnews.co.kr>