[e월드]중국-SOI 웨이퍼공장 양산 돌입

중국 최초의 상용화 SOI 웨이퍼 제조업체인 상하이 신오우크유한회사가 최근 4, 5, 6, 8인치 SOI 웨이퍼 양산에 돌입했다.

　이 회사는 상하이과학원 상하이마이크로시스템 및 정보기술연구소에서 20년에 걸쳐 개발한 산소주입격리(SIMOX)기술을 채택하는 한편 미국 아이비스(Ibis)의 제품을 비롯한 세계 선진 장비를 구비, 연 3만장의 SOI 웨이퍼 제품을 생산할 계획이다.

　신오우크의 관계자는 “우리가 제조하는 제품은 주로 외국의 마이크로 전자 및 광통신 업체와 중국의 대학교·연구소를 주고객으로 할 것”이라고 말했다.