반도체용 화학필터 시장, 경쟁 가열

　반도체 식각(에칭)공정에서 생기는 암모니아·오존·아황산가스 등 유독성 화학물질을 흡착, 제거하는 화학필터의 시장경쟁이 치열하다.

　26일 업계에 따르면 130나노미터(1㎚는 10억분의 1m) 반도체공정이 상용화된 데 이어 90㎚급 초미세화 시대가 임박하면서 카엘·크린에어테크놀로지·한국캠브리지필터 등이 수요 선점에 나섰다.

　한국캠브리지필터(대표 서은태)는 최근 S사 신규 반도체 라인에 450개 규모의 화학필터를 공급하는 계약을 맺었다. 이 회사는 그 동안 일본캠브리지필터에서 화학필터 완제품을 수입해왔으나 화학필터시장이 해마다 10∼20%씩 성장할 것으로 보고 지난해부터 자체 생산을 추진해왔다.

　카엘(대표 이후근)은 암모니아, 오존 및 기타 유해가스를 99.99% 이상 걸러낼 수 있는 첨착활성탄을 사용한 복합필터를 출시하는 등 수요 확대에 박차를 가하고 있다. 이 회사는 지난해 자체 기술로 화학필터와 복합필터를 개발했으며 최근 S사와 신규라인에 투입되는 복합필터 공급계약을 체결했다.

　크린에어테크놀로지(대표 박형중)는 에어필터사업에서 최근 화학필터와 복합필터로 사업을 고도화하면서 화학필터사업에 본격적으로 뛰어들었다. 최근 S사로부터 품질승인을 획득한 이 회사는 S사, H사 등을 대상으로 공급계약을 추진중이다.

　업계 관계자들은 “외국업체에 크게 의존하는 에어필터와는 달리 화학필터는 국내 업체들의 경쟁력이 높고 기술을 선도하고 있어 향후 완전 국산화가 가능할 것으로 본다”며 “화학필터 및 복합필터 시장을 놓고 국내 업체간 경쟁도 한층 가열될 것으로 전망된다”고 말했다.

　<손재권기자 gjack@etnews.co.kr>