서울FST, 플루오로고분자 다이아프램 밸브 출시

　밸브 전문업체 스웨즈락의 국내 영업회사인 서울플루이드시스템테크놀로지스(대표 조문순 http://www.swagelok.com)가 테플론계 플루오로 고분자 재질의 다이아프램 밸브를 출시했다.

　‘DRP 시리즈’란 이름의 플라스틱 밸브는 화학공정에 쓰이는 반도체장비 내부에서 액체의 흐름을 담당하는 특수유체 시스템 부품으로 전세계 밸브업체 중 극소수만이 생산할 수 있을 만큼 높은 정밀도가 요구되는 제품이다.

　또 강한 산성에 견딜 수 있는 특수재질의 소재로 제작돼 금속밸브가 감당할 수 없는 강산 및 솔벤트 취급분야에도 적용 가능하며 방향수와 개수에 제한없이 유체제어용 모듈제작이 가능해 배관 배치공간을 최소화할 수 있다.

　특히 반도체 제조용 약액의 파티클 성장을 억제하고 전단응력 및 유체속도의 급격한 변화를 최소화할 수 있도록 설계돼 화학연마장치(CMP)의 슬러리 공급장치 등 민감한 약액을 취급하는 각종 반도체장비에 사용할 수 있다.

　DRP 시리즈는 4분의 1인치부터 1과 4분의 1인치 굵기까지의 배관에 장착할 수 있는 100여종으로 구성돼 있으며 삼성전자의 반도체 생산라인 일부에 시험 사용되고 있다. 문의 (02)555-1185

　<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>