에스엔티, 반도체 공정용 SiC 제품 본격 양산

　반도체 및 액정표시장치(LCD)용 부품소재업체 에스엔티(대표 이재홍 http://www.snt.co.kr)는 실리콘카바이드(SiC) 제품 양산을 위해 30억원의 자금을 투입, 설비 구축작업을 벌이고 있다고 19일 밝혔다.

　이 회사는 일본 도시바세라믹스에서 연구원을 영입, 지난 3년 동안 반도체 저압화학기상증착(LPCVD) 공정에 쓰이는 SiC 튜브(tubes)와 보트(boats)를 개발해왔으며 설비 구축작업이 완료되는 7월부터 양산에 착수할 계획이다.

　에스엔티의 SiC 제품은 자체 개발한 초고순도반응소결법(Si/SiC)으로 제조해 300㎜ 웨이퍼 열처리가 가능하며 순도가 높고 내열성이 우수한 것이 특징이다.

　이 제품은 지금까지 일본 도시바세라믹스와 아사히글라스 등에서 조달해왔다. 에스엔티측은 이 제품의 양산에 본격적으로 착수하게 되면 연간 300억원에 이르는 수입대체효과를 거둘 수 있을 것으로 기대했다.

　이 회사 이재정 이사는 “SiC소재시장은 성장 가능성이 큰 분야”라며 “2004년 이 부문에서만 34억원의 매출을 기록하고 2005년까지 세계시장의 30%를 점유하는 것이 목표”라고 말했다.

　<손재권기자 gjack@etnews.co.kr>