한국디엔에스, 삼성전자에 3C3D 스피너 공급

　반도체장비업체 한국디엔에스(대표 임종현 http://www.kdns.co.kr)는 자체 개발한 300㎜ 웨이퍼용 트랙장비 3C3D 스피너(모델명 K-SPIN12)를 최근 삼성전자에 공급했다고 21일 밝혔다.

　감광액 도포장치와 현상장치 3개씩을 내장한 3C3D(3 Coater 3 Developer) 스피너는 웨이퍼 포토 공정에 사용하는 전공정 핵심설비로 웨이퍼 표면에 고집적 미세회로를 형성하기 위해 감광액을 도포하고 노광 후 형성된 패턴을 현상하는 설비로 코터와 디벨로퍼 영역을 차단하는 상하 적층구조로 설계해 각각의 영역에 별도의 가열장치와 반송로봇을 배치해 생산 효율성을 높였다.

　특히 이 제품은 1G급의 집적도를 결정하는 회로선폭의 품질향상을 위해 멀티존 히터방식을 채택, 핫플레이트의 온도 균일도를 기존 제품보다 두배 이상 향상시켜 세계 최고의 성능을 갖췄다는 것이 회사측의 설명이다.

　<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>