한국베리안 하이닉스에 고전류 이온주입기 공급

　반도체 제조용 이온주입기(ion implanter) 전문업체 한국베리안(대표 김용길 http://www.korea.vsea.com)은 최근 하이닉스반도체에 고전류(high current) 이온주입기인 ‘비스타(VIISta)80’을 공급했다고 13일 밝혔다.

　하이닉스가 베리안의 싱글타입 고전류 이온주입기를 도입한 것은 이번이 처음이며 하이닉스는 이를 종전 구형 이온주입기와 대체 사용해 메모리 증산에 나선다는 계획이다.

　이온주입기는 반도체 전공정에서 회로패턴과 연결된 부분에 미세한 가스 입자 형태의 불순물을 침투시켜 전자소자의 특성을 만들어주는 장치다.　

　‘비스타80’은 이중감속시스템과 개선된 병행 마그넷, 총 입사각 관리기능 등을 내장해 에너지 오염 제거 및 빔 균일도를 높였으며 디스크에 여러장의 웨이퍼를 동시 로딩, 이온주입하는 종전 배치 타입에서 발생하는 단점을 극복했다.

　한편 미국에 본사를 둔 베리안은 85년 설립 이후 2800여대의 고전류·중전류·고전압·초저전압 등 다양한 형태의 이온주입기를 생산, 이 중 350여대를 국내에 공급했으며 지난 7월에는 동부전자에 ‘비스타80’을 공급한 바 있다.

　<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>