어플라이드머티리얼즈, 300mm 습식 세정장비 출시

반도체 장비전문업체인 어플라이드머티리얼즈코리아(대표 이영일)는 300㎜ 단일 웨이퍼 습식 세정장비인 ‘오아시스 클린’ 시스템을 개발, 미주·유럽·아시아시장에 동시 발표한다고 19일 밝혔다.

　이 장비는 여러장의 웨이퍼를 단일 챔버에서 처리하는 기존 방식과는 달리 웨이퍼 한장씩 여러개의 챔버에서 동시에 세정하는 매엽식 멀티챔버 300㎜ 세정방식이어서 공정처리 시간을 35% 이상 절감했다는 게 회사측의 설명이다.

　‘오아시스 클린’ 시스템은 웨이퍼 전면과 후면에 생성된 파티클을 30초 이내에 세정할 수 있으며 각각의 웨이퍼에 새로운 화학약품을 공급해 웨이퍼간 상호오염을 방지했다.

　또한 기존 시스템에 비해 이온교환수(DI 워터) 소요량을 10분의 1수준으로 줄여 환경오염을 최소화했다.

　어플라이드머티리얼즈는 세계 습식세정장비 시장 규모가 올해 4억2000만달러에서 2004년에는 10억달러 이상으로 성장할 것으로 전망하고 있다.

　<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>