다산테크, 반도체공정용 클린로봇 3종 출시

　산업용 로봇 전문업체 다사테크(대표 강석희 http://www.dasatech.co.kr)는 국내 최초로 반도체공정용 클린로봇인 아이로보(i-robo·모델명 DRM-C) 3종을 출시한다고 9일 발표했다.

　다사테크가 국산화한 클린로봇은 모터구동시 발생하는 미세먼지를 차단해 클라스10급 반도체 생산라인의 까다로운 먼지제어 규격을 거뜬히 만족시키며 적재능력은 10∼30㎏급이다.

　이 회사는 다음달부터 국내외 반도체장비업계에 월 100대씩 제품 공급을 시작할 방침이라고 밝혔다.

　다사테크는 이번에 선보인 직각운동형 클린로봇 외에 오는 6월 스칼라형 클린로봇까지 선보여 반도체장비에 들어가는 운송로봇을 점차 국산화한다는 계획이다.

　<배일한기자 bailh@etnews.co.kr>