반도체 ALD(원자층증착)장비 수출 활기

　국내 원자층증착(ALD:Atomic Layer Deposition)장비업체들이 해외진출에 잇따라 성공함에 따라 국산 ALD장비 시장 전망을 밝게 하고 있다.　

　1일 업계에 따르면 지니텍·주성엔지니어링·아이피에스 등 국내 장비업체들은 화학기상증착(CVD) 방식을 대체할 차세대 증착방식으로 평가되는 원자층증착(ALD) 방식의 장비를 개발한 데 이어 최근 유럽과 미국 등에 이를 수출, 기술력을 인정받고 있다.　

　가스의 화학반응으로 형성된 입자들을 웨이퍼 표면에 증착해 절연막이나 전도성막을 형성하는 증착공정에 널리 쓰이는 CVD 분야에서는 국내 장비업체들의 참여가 늦어 해외시장 개척에 큰 어려움을 겪어 왔다. 하지만 차세대 증착방식으로 급부상하고 있는 ALD 부문에서는 국내업체의 기술수준이 해외 선진업체들을 능가할 만한 위치에 올라 있어 향후 본격적인 시장형성이 예상되는 2∼3년 후에는 시장 주도권 행사도 가능할 전망이다.　

　지니텍(대표 이경수)은 지난해 초 세계 최초로 기가급 D램 생산에 적용할 수 있는 플라즈마 ALD 기술을 발표한 데 이어 최근 네덜란드계 다국적 반도체장비업체 ASM인터내셔널에 기술수출 및 장비 공동개발에 관한 포괄적인 협력계약을 체결했다.　

　이 회사는 장비당 3%를 상회하는 경상기술료를 받게 돼 2005년까지 최소 2000억원대의 관련 매출을 창출할 수 있을 것으로 기대하고 있다.　

　주성엔지니어링(대표 황철주)은 지난달 미국 마이크론테크놀로지에 ALD 완성장비를 수출했다.

　이 회사가 상반기중 수출하기로 한 ALD장비는 200달러 규모지만 국내에서 개발된 완성장비를 수출하는 최초의 사례인데다 수출대상국이 반도체장비산업의 본고장인 미국이라는 점에서 국산 ALD장비산업의 성장 가능성은 한층 밝아졌다.

　98년부터 삼성전자와 공동으로 ALD 개발에 착수한 아이피에스(대표 이용한)는 지난해 상반기 미국에서 ALD 기술특허를 획득한 데 이어 올들어서는 네덜란드의 장비업체 ASML과 ALD 기술 및 장비수출 상담을 진행중이다.

　이 회사는 지난해 미국 SVG의 열공정사업부와 수출상담을 벌여오다 SVG가 ASML에 합병된 이후로 상담대상을 ASML로 전환한 이후 수출상담이 순조롭게 진행됨에 따라 이르면 이달 중순 이전 수출성과를 가시화할 수 있을 것으로 기대하고 있다.

　아이피에스가 진행중인 수출상담은 규모가 1억달러에 이르는 것으로 알려져 있어 이번 수출이 성사될 경우 국내 최초로 ALD 기술을 수출한 지니텍과 국내 최초로 장비를 수출한 주성엔지니어링에 이어 또 다른 ALD 관련 기록을 남길 전망이다.

　업계 관계자는 “CVD 부문에서는 주성엔지니어링 정도만이 명성을 얻었을 뿐 해외 선진업체에 비해 열세를 면치 못했으나 차세대 증착기술인 ALD 부문에서는 지니텍·주성엔지니어링·아이피에스·무한 등이 최근 두각을 드러내고 있어 시장선점 가능성이 매우 높아졌다”며 “특히 국내 ALD 기술은 미국이나 일본의 유수 장비업체에 비해 손색이 없어 차세대 장비분야에서 국내 업체들의 선전이 예상된다”고 말했다.

　<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>