헤세드테크놀러지, TFT LCD·SOI 웨이퍼용 단결정 실리콘박막 첫 개발

　반도체 재료 개발업체인 헤세드테크놀러지(대표 김대식 http://www.hesedtech.com)가 단결정 실리콘 박막트랜지스터 액정표시장치(TFT LCD) 및 실리콘온인슐레이터(SOI) 웨이퍼(실리콘 웨이퍼 기판의 절연막 위에 집적회로가 제작될 단결정 실리콘 필름이 있는 상태)에 사용되는 ‘단결정실리콘박막(RESOS)’을 국내 처음으로 개발했다.

　이 회사가 개발한 ‘RESOS’는 실리콘과 유사한 화학적 특성을 지니면서 900∼1000도의 고온에서 견딜 수 있는 단결정 실리콘 기판 위에 절연체를 성장시키는 기술이다. 이 기술은 프로젝션TV나 뷰파인더, 3차원 영상을 구현할 수 있는 헤드마운티드디스플레이(HMD) 등 고온 폴리 및 단결정 TFT LCD와 SOI 웨이퍼에 적합하다.

　특히 이 기술은 고온에서 견딜 수 있다는 특징 덕분에 우주산업 등 첨단분야의 재료로도 사용될 수 있다는 것이 회사측 설명이다.　

　이 회사는 이 외에도 플라스틱 TFT LCD 등을 저렴한 비용으로 생산하기 위해 박막층과 기판을 쉽게 분리할 수 있는 기술(FITOS)도 개발중이다.　

　이 회사는 내년 말 양산을 목표로 대전 대덕밸리에 생산설비를 구축중이며 안정적인 재원확보를 위해 내년에는 나스닥 장외시장에도 등록한다는 방침이다. 　

　김대식 사장은 “앞으로 차세대 반도체 재료 원천기술 확보에 주력할 계획”이라고 말했다.

<손재권기자 gjack@etnews.co.kr>