어플라이드, 최신 공정 개발 팹 공개

　대부분의 반도체 업체들이 일관생산라인(FAB:팹)의 문을 닫는 가운데 어플라이드머티리얼스가 실리콘밸리에 새 공정 개발 웨이퍼 팹인 ‘PMTC(Process Module Technology Center)’를 공개했다고 실리콘스트래티지스가 보도했다.

　이에 따르면 PMTC는 0.10미크론 이하 차세대 반도체 생산공정을 개발하기 위한 팹으로 어플라이드를 비롯해 캐논 등의 최신 장비를 구비한 200·300㎜ 웨이퍼를 동시에 운영하는 복합 팹이다.　

　또 이 PMTC는 구리 인터커넥션, 저·고-k 유전체, 기타 신재료 등을 구현할 수 있다.

　<황도연기자 dyhwang@etnews.co.kr>