한국디엔에스, "300mm 웨이퍼용 건식 식각장비 내년 6월께까지 앞당겨 개발"

한국디엔에스(대표 박창현 http://www.kdns.co.kr)는 내년 중반까지 드라이 에처 상용장비를 개발, 시장개척에 나설 예정이라고 16일 밝혔다.




지난해 9월 300mm 웨이퍼용 드라이 에처 개발팀을 구성해 올해 3월부터 장비개발을 본격화한 한국디엔에스는 당초 드라이 에처의 개발완료 시기를 내년말께로 계획했으나 내년 중반을 넘길 경우 시장선점 전략에 차질이 있을 것으로 보고 상용장비 개발을 앞당기기로 했다.







이 회사는 이달말까지 하드웨어 및 소프트웨어를 통합한 프로토타이프 수준의 장비를 내놓고 내년 1월말에는 플라즈마 소스를 이용한 물리적인 시험을 마무리한다는 계획이다.




또 하드웨어 및 소프트웨어에 대한 튜닝작업은 2월말까지 마치고 소자업체를 대상으로한 최종 성능시험을 실시, 내년 6월께 양산용 장비 개발을 완료하기로 했다. <최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>