다산씨앤드아이, 웨이퍼 이송장비 생산 추진

　다산씨앤드아이(대표 오희범 http://www.dasancni.co.kr)가 하이닉스 메모리 연구소에서 분사한 ILAB의 장비 R&D 부문을 6억원에 인수하고 300㎜ 웨이퍼 이송 자동화 시장에 진출한다고 6일 밝혔다.

　다산씨앤드아이는 내년부터 300㎜ 웨이퍼를 핸들링하는 EFEM(Equipment Front End Module)과 로드포트를 양산한다. 또 200㎜ 및 300㎜ 웨이퍼 프로브 시스템과 현재 개발중인 300㎜ 웨이퍼 스토커 시스템도 사업화할 계획이다.

　THC·칠러·스크러버 등 반도체 전공정 장비를 주로 개발해 온 다산씨앤드아이는 새롭게 열리는 300㎜ 웨이퍼용 장비 시장 공략을 통해 반도체 경기 침체 상황을 극복하기 위해 신규사업에 진출했다고 말했다.

　<정진영기자 jychung@etnews.co.kr>