플라즈마 특성분석장치 개발

　기존 제품보다 가격을 10분의 1로 대폭 낮추면서도 플라즈마의 특성을 효율적으로 정확하게 측정할 수 있는 전기탐침방식의 플라즈마 계측장치가 국내 벤처기업에 의해 개발됐다.

　대덕밸리내 플라즈마 발생 및 계측 장비 개발·제조 전문업체인 플라즈마트(대표 장홍영 KAIST 물리학과 교수 http://www.plasmart.co.kr)는 반도체 제조공정 및 세정공정 등에 광범위하게 사용되는 플라즈마 특성분석장치인 ‘HLP 2000’을 개발·출시했다고 26일 밝혔다.

　플라즈마의 밀도 및 전자온도·전위 등의 결과를 실시간 사용자에게 전달해 주는 이 제품은 기존 장비들이 탐침을 통해 얻은 아날로그 신호를 해석하기 위해 반드시 PC를 사용해야 했던 번거로움을 보완해 신호 해석에 필요한 회로 자체를 소형화해 내장시킴으로써 PC 사용이 필요없게 설계된 것이 특징이다.

　플라즈마에 대한 정보처리가 측정부 자체에서 이뤄져 전송선에 의한 신호왜곡현상이 거의 없는 이 제품은 기존의 랑뮤어 탐침보다 플라즈마에 대한 간섭이 적어 훨씬 정밀하고 안정적인 정보를 얻을 수 있다.

　또 한대의 컨트롤러에 세개의 탐침을 동시에 장착할 수 있어 플라즈마의 위치별 분석을 쉽게 할 수 있을 뿐만 아니라 제품 한대만으로도 세대의 플라즈마 분석장치 역할을 수행하게 돼 경제적 절감효과도 크다.

　그동안 우리나라에서는 제품 한대당 5000여만원에 달하는 플라즈마 계측기를 대다수 수입에 의존해 왔으나 이번 개발로 수입대체효과도 가져올 것으로 예상하고 있다.

　제품 활용범위는 반도체 제조 및 세정 공정 등 시스템의 불량원인을 찾을 수 있는 감시시스템과 반도체장비 품질테스트 등에 다양하게 활용이 가능하다.

　플라즈마트는 국내 반도체 측정장비업체인 세미시스코와 전략적 제휴를 통해 해외시장 개척에도 적극 나설 계획이다. 문의 (042)863-2546

　<대전=신선미기자 smshin@etnews.co.kr>