<한국반도체산업대전2001>재료분야출품업체:화인반도체기술

◆화인반도체기술-펠리클



　화인반도체기술(대표 장명식 http://www.fstc.co.kr)은 포토마스크 보호용 박막필름인 펠리클 등 부품 재료를 비롯해 자동온도조절장치인 칠러를 선보인다.

　이 회사의 주력 생산품인 펠리클은 마스크와 레티클(reticle)표면을 대기중의 분자나 오염으로부터 보호해 주는 얇고 투명한 막이다.

　보통 양극산화된 알루미늄 프레임에 장착되는 펠리클은 반도체 노광장비, 프로젝션 얼라이너에서는 레티클의 한쪽 크롬(Cr)면에만, 스테퍼에서는 레티클의 크롬면과 유리면 양쪽 모두에 부착돼 펠리클 표면의 이물질이 웨이퍼 이미지에 영향을 주지 않을 거리에 위치하게 된다.

　화인반도체기술은 현재 반도체 생산라인에서 가장 많이 사용되는 g·i라인용 펠리클과 차세대 극자외선(DUV) 펠리클을 생산하고 있으며 고집적 반도체 시장을 겨냥해 불화아르곤(ArF) 엑시머 레이저용 펠리클도 개발했다.

　이밖에 화인반도체기술은 열전(thermo electric) 반도체 모듈을 채택, 프레온가스를 사용하지 않고 전기적 열교환 순환기를 이용해 환경 친화적인 초소형·초경량 칠러도 출품한다.

　지난해 말 경기도 화성군 동탄면내에 1400평 규모의 대규모 신공장을 완공, 제품 생산을 대폭 확대하고 듀폰·포트로닉스·아펙스 등 미국의 포토마스크업체들과 일본 토판 등 해외시장공략에도 적극적으로 나서고 있는 화인반도체기술은 최근 사업다각화 차원에서 화학기계적연마(CMP)장비와 웨트스테이션 등 전공정 장비사업에 나서기로 하고 관련 인력충원 및 제품개발에 적극 나서고 있다.