<한국반도체산업대전2001>산자부장관상 수상작-대상:코닉시스템

◆대상:코닉시스템-장비재료부문 웨이퍼 공정용 CTC SW 솔루션

　반도체 제조용 장비 및 제어기 전문업체인 코닉시스템(대표 정기로 http://www.kornic.co.kr)은 웨이퍼 공정용 CTC(Cluster Tool Controller) SW 솔루션 ‘이지클러스터’로 산업자원부 장관상 장비재료부문 대상을 수상했다.

　산업자원부의 ‘시스템 IC 2010사업’의 일환으로 개발된 이 솔루션은 윈도NT를 운용체계로 하면서 산업용 PC를 기본 플랫폼으로 사용하고 다이렉트 I/O와 ‘디바이스넷’을 지원한다. 또 범용의 HW와 SW를 사용하기 때문에 시스템을 구성하는 비용이 적게 들고 개발 및 운용법을 장비업체의 엔지니어들이 쉽게 습득할 수 있는 장점이 있다.

　이와 함께 자체 개발한 GUI(Graphic User Interface)용 그래픽 엔진과 공정자동화(FA)를 위한 SECS/GEM 통신기능도 내장, 소자업체의 특수한 FA사양에도 즉시 대응이 가능하며 SW에 대한 추가 라이선스 부담이 없다.

　반도체 전공정장비 제어시스템을 효과적으로 구축할 수 있는 범용 제어 솔루션인 ‘이지클러스터’가 순수 국내기술로 개발됨으로써 그동안 장비업체들이 외국제품을 주로 사용하면서 생기는 기술의 대외종속과 경쟁력 저하를 해소했다. 또 반도체 장비의 요구기능이 점점 복잡해지고 FAB 자동화 기능이 필수적으로 적용됨에 따라 SEMI 표준호환성도 만족해야 하는 등 국내 중소 장비업체들이 해결하기 어려운 점을 범용 솔루션으로 풀어냈다.

　현재 이 솔루션은 10개 장비업체의 애셔, ALD, CVD 등 총 30여대의 장비에 채택돼 연구 및 양산라인에서 검증을 받았다.

　정기로 사장은 “국내 반도체 장비 제조업체들이 외국업체에 의존하지 않고도 경쟁력있는 장비를 개발할 수 있도록 이 솔루션을 다양한 형태로 제공하고 정기적인 교육프로그램도 계획하고 있다”며 “장비업체가 원할 경우 턴키방식의 개발용역도 제공한다”고 말했다.