<한국반도체산업대전2001>기타출품업체:신한다이아몬드공업

◆신한다이아몬드공업-CMP컨디셔너

　신한다이아몬드공업(대표 김신경 http://www.shinhandia.com)은 국내 반도체 업체들과 대만 시장 등에서 성능을 인정받고 있는 CMP 컨디셔너와 다이아몬드 컨디셔너를 전시회에 선보인다.

　CMP 공정(Chemical Mechanical Planarization)은 80년대 말 미 IBM에서 개발한 기계적 제거와 화학적 제거 가공공정의 통합방식으로 PECVD, RIE 공정들과 함께 서브미크론 크기의 칩제조에 있어 반드시 필요하다.

　최근 반도체 디바이스의 미세화, 고밀도화에 의해 다층 배선화가 추진되는 가운데 CMP에 의한 평탄화 기술의 중요성이 점차 높아지고 있다.

　또한 CMP 가공은 머신, 패드, 슬러리가 기본적 요소로 연구돼 왔지만 최근의 경향은 컨디셔너의 기능을 중시하는 상황이다.

　신한의 CMP 컨디셔너는 98년부터 3년간의 꾸준한 연구를 거쳐 충분한 필드 테스트를 거쳤다.

　한편 신한의 다이아몬드 컨디셔너는 전착식과 융창식으로 나누어지는데 습식 도금을 이용한 전착식과 용융 금속으로 다이아몬드를 고정하는 융착식 모두 패드의 마모를 최소화하면서도 웨이퍼 가공시 최상의 성능을 발휘할 수 있는 다이아몬드를 그동안 축적된 노하우를 바탕으로 선별 사용함으로써 기존 수입품에 비해 R/R(Removal Rate)와 품질통합은 동등한 수준이면서도 제품의 수명은 150% 이상을 유지해 세계 시장에서 주목받고 있다.

　

<정진영기자 jychung@etnews.co.kr>