한국도카이카본, SiC코팅 사업 나선다

반도체 제조용 고순도 탄소(카본) 공급업체인 한국도카이카본(대표 권봉수)이 반도체 제조공정에 쓰이는 흑연(그래파이트) 등의 실리콘카바이드(SiC) 코팅사업에 나선다고 5일 밝혔다.

이 회사는 SiC 코팅사업을 위해 내년에 60억여원을 투입, 경기 안성공장 옆에 SiC 코팅 전용공장을 완공하고 가동에 들어갈 계획이다. 아울러 이 회사는 화학증착용 확산로(CVD furnace) 2기도 들여올 예정이다.

이 회사는 반도체나 웨이퍼 제조공정에서 필수적으로 사용되는 그래파이트를 화학증착용 확산로에 넣은 후, 화학증착 방식을 이용해 가스를 반응시켜 그래파이트 표면에 SiC 막질을 입히는 SiC 코팅과 함께 SiC가 들어간 반도체 관련 재료에 순수 SiC를 다시 입히는 코팅사업 등에 나서기로 했다.

이 회사의 한 관계자는 『그동안 국내에서는 그래파이트의 SiC 코팅을 전량 외국에 의존해왔다』며 『SiC 코팅의 국내 수요를 감안할 경우 연간 80억∼100억원 정도의 수입대체 효과 및 매출실적을 올릴 수 있을 것으로 기대하고 있다』고 말했다.

<온기홍기자 khohn@etnews.co.kr>