<세미콘코리아 2000 특집>어플라이드머티리얼즈코리아 CD-SEM장비(모델명 veraSEM)

어플라이드머티리얼즈코리아(AMK·대표 이영일)가 이번 전시회에 출품한 장비는 CD-SEM장비(모델명 veraSEM).

이 제품은 3차원 이미지기술을 적용한 주사전자현미경(SEM)장비다. 2차원의 기존 장비로는 찾아낼 수 없었던 공정상의 문제점을 3차원 이미지기술을 찾아내는 것이다.

또 해상도가 높아 0.1미크론(1미크론은 100만분의 1m) 이하의 미세구조에서 측면 영상처리가 가능하다. 몇시간씩 소요됐던 오프라인 분석도 이 장비는 몇초 안으로 공정편차까지 발견해 높은 수율과 비용절감을 도모할 수 있다.

이밖에 파괴테스트시 기존 장비는 공정을 멈춰야 했으나 이 장비는 공정단계 사이의 웨이퍼를 즉시 모니터할 수 있어 생산성이 높다. 특히 이 장비의 인라인 운영은 많은 수량의 값비싼 측정용 웨이퍼를 만들 필요를 없애 생산비용을 더욱 줄일 수 있다.

AMK는 지난해 초 개발한 장비를 완전 자동화해 이 장비를 개발했으며 오퍼레이터의 지원이 필요 없으며 데이터베이스(DB) 공유의 이점도 있다고 설명했다.

◇테라다인코리아 VLSI 테스트시스템(모델명 J750)

테라다인코리아(대표 장흥조)는 VLSI 테스트시스템(모델명 J750)을 이번 전시회에 선보였다.

이번에 출품한 VLSI 테스트시스템은 설치공간을 줄여 생산성을 높일 수 있도록 설계한 테스트시스템이다. 기존의 테스트시스템과 달리 메인프레임을 없애고 테스트헤드만 있도록 디자인했다.

또 시스템헤드가 핸들러의 위 또는 아래에 위치해 별도의 테스트 공간이 필요없다.

이밖에 보드를 주문형반도체(ASIC)화해 한장의 보드에서 64개의 디지털채널을 지원할 수 있도록 설계했다. 각각의 보드는 독립된 형태 제너레이터가 돼 디지털·아날로그 데이터를 동시에 이동시켜 테스트시스템과 컴퓨터시스템의 데이터 정체현상을 해결했다.

이 제품은 1024개의 디지털채널과 32개의 디바이스파워서플라이를 장착할 수 있으며 컨버터 테스트옵션으로 16비트급을 지원한다.

또 D램 또는 플래시메모리가 내장된 디바이스들은 메모리 테스트옵션을 이용해 최대 32개를 병행 점검할 수 있다.

이밖에 이 제품은 UNIX/솔라리스 환경의 기존 제품과 달리 윈도NT 환경에서도 운영돼 초보자도 쉽게 접근할 수 있다.