<세미콘코리아 2000 특집>클라리언트코리아의 IC·FPD용 케미컬

클라리언트코리아(대표 프레드릭 호니그만)는 이번 전시회에서 IC케미컬과 FPD용 케미컬 등을 출품한다.

IC 화학제품분야에서는 0.13㎛ 해상도를 구현할 수 있는 불화크립톤(KrF)용 포토레지스트와 0.10㎛ 해상도를 지원하는 불화아르곤(ArF) 포토레지스트를 출품한다. 또 i라인(365㎜), KrF(248㎜), ArF(193㎜)용 반사방지막 재료인 BARC를 선보이며 콘택트홀용 KrF 포토레지스트와 함께 간단한 공정을 통해 0.10㎛의 홀을 구현시킬 수 있는 수용성 수지 렐락스(RELACS)도 전시한다.

FPD용 화학재료에서는 18mJ/㎡대의 빠른 노광속도를 가지면서 침식률이 작은 초고속용 포토레지스트를 출품한다.

지난 87년 국내에 설립된 클라리언트코리아는 98년에는 안성협동화단지내 화학공장을 준공, 현재 이 공장을 통해 포토레지스트·현상액·시너·ARC(Anti Reflective Coating) 등 다양한 종류의 반도체 및 FPD용 화학제품을 제조·판매하고 있다.