케이맥, 반도체 박막두께 측정장치 개발

케이맥(대표 이종환)은 반도체 공정라인에서 활용되는 장비인 반도체·액정표시장치(LCD) 박막두께 측정장치를 개발, 시판에 들어간다고 8일 밝혔다.

광섬유식 분광기와 시료 홀더, 반사율 측정장치, 광섬유로 구성된 이 제품은 윈도 환경에서 구동될 수 있도록 편리하게 만들어졌다. 특히 박막의 자동 두께 측정은 물론 빛의 파장에 따른 굴절률과 소실계수도 계산할 수 있다.

이 제품을 이용할 경우 실리콘 웨이퍼와 유리·금속 표면에 코팅된 박막 측정이 가능하며 자동 모드일 경우 1초 미만의 짧은 시간안에 측정할 수 있다.

제품 가격도 기존 외국 제품의 10분의 1 정도인 700만원대로 가격 경쟁력이 뛰어나며 IBM PC와 연결해 사용할 수 있는 다양한 응용 소프트웨어가 제공된다. 이번 개발로 200억원 이상의 수입대체 효과와 함께 연간 2000만달러에 달하는 수출효과가 기대된다.

이중환 대표는 『앞으로 고압방전에 의한 금속 표면 성분 분석기와 오폐수 감지기 등 다양한 분석장비 등을 개발하는 데 주력하겠다』고 말했다.

<대전=신선미기자 smshin @etnews.co.kr>