<화요특집-FPD 엑스포 99> 주요 장비업체 출품작.. 엑시머클리닝 시스템

우시오코리아 "엑시머클리닝 시스템"

　「할로겐 히터 시스템」 「엑시머 클리닝 시스템」은 일본 우시오의 제품. 국내에서는 우시오한국지사(대표 백남혁)가 제품을 판매하고 있다.

　할로겐 히터 시스템은 평판 디스플레이 예비가열 공정, 애니얼 공정, 스퍼터 공정, 액정주입 공정에 사용할 수 있는 장비다.

　평면을 균일하게 가열하는 기능이 특징이며 열전도를 이용할 수 없는 진공에서의 가열에 적합하다. 필요할 때만 가열할 수 있고 급속가열 기능과 급속안정에 매우 적합한 기능을 갖고 있다. 긴 수명으로 일정한 에너지를 방사하며 빛을 사용하기 때문에 조작하기가 쉽다. 소형의 깨끗한 열원이 장점이며 고효율의 에너지원을 사용, 비용을 상당부분 절감하는 것이 가능하다.

　엑시머 클리닝 시스템은 강력한 단파 자외선을 광원으로 하는 평판 디스플레이를 세정하는 장비다. 이 제품은 0.25㎛ 반도체 제조공정과 LCD 제조공정에 사용하는 것으로 생산성을 향상시킬 수 있는 것이 장점이다.

　빛의 화학에너지는 파장이 짧을수록 강하다는 원리에 기반을 둔 장비로, 화학반응을 일으키기 위해 172㎚의 자외선을 방출할 수 있도록 설계했다. 이 제품은 적외선을 형성하지 않고 저온에서 매우 짧은 시간에 프로세싱이 가능하다.