아토, 반도체.LCD 장비 부품 세정제 화학약품사업 확대

　반도체 장비업체인 아토(대표 오순봉)가 반도체·LCD 제조장비 부품 세정제로 사용되는 케미컬(화학약품) 분야로 사업을 확대한다고 3일 밝혔다.

　아토는 최근 반도체산업용, 철강산업용 및 LCD박막·CRT용 케미컬을 개발, 국내 반도체·디스플레이 업체들을 통해 현장적응테스트를 진행중이며 오는 2000년부터는 양산에 돌입할 계획이다.

　이 회사는 사업이 본격화하는 내년 케미컬 분야에서 103억원의 매출을 올릴 예정이며, 이를 기반으로 가스공급장치·가스정제기 등 모든 사업부문에 걸쳐 430억원의 매출을 목표로 하고 있다.

　아토가 이번에 개발한 케미컬은 환경친화 제품으로, 반도체산업용의 경우 HF/HNO₃ 화합물을 대체할 수 있으며 제조장비의 수명을 최소 4배 정도 연장시킬 수 있다.

　또 LCD박막용 제품의 경우 기존 LCD박막 에칭 케미컬을 대체, 투자비용을 절감할 수 있다. 파이프·앵글·열연/냉연코일 세정시 산화질소가 발생하지 않게 하는 철강산업용 케미컬은 안전성과 비용절감을 최대화할 수 있다.

　아토가 새로 진출한 케미컬 분야의 국내외 시장규모는 내년에 각각 1000억원, 1조1000억원에 이를 것으로 전망된다.



이일주기자 forextra@etnews.co.kr