아폴로테크, 실리콘인고트 슬라이싱 장비 국산화

　그동안 전량 수입에 의존해온 실리콘인고트 슬라이싱 장비가 국내서도 개발됐다.

　아폴로테크(대표 김종제)는 지난 1년간 2억여원을 투자, 반도체 제작에 사용되는 실리콘인고트 가공용 와이어소(Wire Saw)를 자체 개발했다고 6일 밝혔다.

　아폴로테크가 국산화에 성공한 장비는 지름 450㎜ 실리콘인고트까지 절단이 가능하도록 설계, 기존 6·8인치 웨이퍼까지 다룰 수 있다.

　아폴로테크측은 300㎜용의 경우 지속적인 연구를 통해 조만간 제품개발을 완료할 계획이다.

　아폴로테크는 이번에 개발한 장비를 국내는 물론 일본 절단가공 업체들에도 판매할 계획이다.

　또한 국내 전기·전자 분야에서 사용되고 있는 소지름 가공, 특히 슬라이싱면의 정밀도를 요하는 산화망간 페라이트 등의 가공에도 활용할 수 있도록 장비의 성능을 개선할 예정이다.

　이와 함께 지금까지 일본에서 절단돼 국내에 도입되던 에칭케소드 재료인 실리콘플레이트를 자체 가공, 국내 및 일본 업체들에 제공키로 했다.

　아폴로테크측은 『이번에 개발한 와이어소 장비는 대부분 국산 부품으로 이뤄졌으며 기존 장비에 비해 커팅용 슬러리 및 오일 사용을 대폭 줄여 유지비용 절감효과를 크다』고 설명했다. 문의 (02)501-8425

이일주기자 forextra@etnews.co.kr