삼성전자, 日에 반도체용 로봇 수출

　삼성전자가 자체기술로 개발한 반도체용 로봇을 일본에 수출한다.

　11일 삼성전자(대표 윤종용)는 8인치 반도체 웨이퍼 카세트 무인 운반용 로봇시스템(6축로봇) 10대를 일본 무인운반차 전문업체인 다이후쿠사에 이달말까지 공급키로 했다고 밝혔다.

　일본 최대의 무인운반차 전문생산업체인 다이후쿠사는 삼성전자가 개발한 6축로봇을 무인운반차(AGV)에 탑재시켜 일본 반도체 생산업체에 공급하게 된다.

　품질의 신뢰성을 까다롭게 요구하는 반도체 생산공정에 국산 로봇을 공급함에 따라 일본시장에서 품질 및 기술력을 공식적으로 인정받은 삼성전자는 세계적인 수준의 로봇 기술력을 바탕으로 반도체 패키지 조립용 CSP 본더, 핸들러시스템, 인덱스시스템, TAB장비 등 초정밀 반도체 및 LCD용 장비를 출시할 계획이다.

　한편 삼성은 지난해 말 미국 어뎁트테크놀로지와 반도체용 로봇인 웨이퍼 이송로봇(WTR)과 TFT LCD 기판 이송용 로봇(LTR)에 대해 연간 300만달러의 수출계약을 체결했으며 오는 2000년까지 1000만달러 이상으로 수출규모를 확대할 예정이다.

　또한 반도체 물류장비 분야에서도 미국 팰러앨토, ASYST 등과 협력관계를 체결, 오는 2001년 이후에는 해외협력을 포함해 연간 5000만달러 이상의 수출을 기대하고 있다.

<안수민기자 smahn@etnews.co.kr>