<화요특집-FA시스템> 삼성전자 "8인치 웨이퍼 로봇"

　지난 5월 국내 최초로 산업용 로봇 생산 5000대를 돌파한 삼성전자(대표 윤종용)는 각종 로봇 시스템과 PLC, 서보와 인버터 등 모터 제어기, CNC 장치, FA 제조장비와 반도체장비 등 각종 FA시스템을 생산하고 있다.

　이 회사의 초정밀 로봇 응용시스템 중 8인치 웨이퍼 카세트 이동 로봇은 이동형 무인반송차 위에 6축 다관절 로봇을 탑재한 것으로 반도체 공정 간에 웨이퍼 카세트를 반송하기 위해 각종 센서를 사용한 지능형 로봇 시스템이다. 특히 이 로봇은 자기 테이프 주행방식을 채택, 바퀴 구조상 전후좌우 모든 방향으로 본체를 회전하지 않고 이동할 수 있으며 이적재시 6축 로봇의 작업위치를 보정하기 위해 로봇 선단에 비전을 부착한 것이 특징이다. 또한 반송이나 이적재 도중 반송물을 보호하기 위한 각종 장치가 탑재돼 있어 작업자의 오작업을 사전에 방지할 수 있는 것이 장점이라고 회사측은 설명했다.