日니콘, 신형 스테퍼 내년 봄 출시

　일본 니콘이 200㎜ 웨이퍼를 1시간당 최대 120장까지 처리할 수 있는 신형 스테퍼를 개발하고 내년부터 시판할 계획이라고 「일본경제신문」이 보도했다.

　니콘이 이번에 개발한 스테퍼는 파장 248㎚인 불화클립톤(KrF) 엑시머레이저를 광원으로 사용하는 것이 특징이다. 또 회로원판에 그려진 회로의 원형을 독자적으로 개발한 렌즈를 사용해 축소촬영함으로써 회로선폭 0.18㎛ 및 0.15㎛급의 미세한 회로를 반도체 웨이퍼 위에 새겨 넣을 수 있다.

　니콘은 웨이퍼와 회로원판의 위치를 맞추는데 걸리는 시간을 대폭 단축함으로써 처리속도를 자사의 종전 제품에 비해 40%(200㎜ 웨이퍼) 가량 향상시켰다. 또 2001년부터 본격적인 도입이 예상되는 300㎜ 웨이퍼를 사용할 때도 종전 제품에 비해 처리속도를 50% 이상 향상시켜 1시간당 75장 이상을 처리할 수 있게 했다.

　니콘은 이 스테퍼를 미세화가 급진전되고 있는 차세대 D램 및 마이크로프로세서(MPU) 용으로 판매할 방침이다.

<주문정기자 mjjoo@etnews.co.kr>