아토, 반도체용 초고순도 가스 정제장치 개발

　반도체 장비업체인 아토(대표 오순봉)는 순수 독자기술로 반도체용 초고순도 가스 정제장치 개발 및 관련업계 인증을 완료하고 본격 양산체제에 돌입한다고 21일 밝혔다.

　이 제품은 가스 중에 포함돼 있는 불순물을 거의 완벽하게(불순물 농도 1ppb이하) 제거해 순도를 초고순도로 향상시키는 역할을 하는 장치로 그동안 대부분 수입제품에 의존해 왔다.

　아토 측은 『이 제품은 반도체, 박막트랜지스터 액정표시장치(TFT LCD) 등의 제조시 공정 수율에 영향을 줄 수 있는 대부분 특수가스의 순도를 99.999999% 이상 초고순도로 정제가 가능하도록 개발됐다』며 『D램 반도체의 고집적도화에 따른 초고순도 가스 정제장치 수요확대에 대비해 소용량에서 대용량까지 가스 정제장치의 라인을 갖춰 국내 수요 확대는 물론 해외시장 진출도 연내에 가능할 것으로 기대한다』고 설명했다.

<김홍식기자 hskim@etnews.co.kr>