일본진공기술-美램트론, Fe램 장비 개발 제휴

　일본진공기술은 미국 램트론과 회로선폭 0.25㎛ 이하의 강유전체메모리(Fe램)를 생산하는데 사용하는 각종 제조장비를 공동개발하기로 합의했다고 「일본경제신문」이 보도했다.

　이에 따르면 지난 97년부터 스퍼터링과 애싱장비를 공동 개발해 온 양사는 이번에 제휴관계를 더욱 긴밀히 함으로써 Fe램의 양산에 사용하는 관련장비의 업계 표준을 꾀하고 있다.

　양사는 이번 제휴로 에칭, 유기금속 화학적 기상 성장법 박막형성(CVD), 확산로, 급속온도상승하강조작(RTP) 등 각종 제조장비를 공동 개발하게 된다.

　일본진공기술은 올 가을 첫번째 개발한 장비를 램트론에 납품할 계획이다. 이 회사는 평가 및 실증실험을 거친 후 양산장비를 생산할 계획이다.

<주문정기자 mjjoo@etnews.co.kr>