한국린텍, 초정밀 면적식 유량계 개발

　반도체 장비 부품 생산업체인 한국린텍(대표 최영)은 반도체 장비에 부착돼 각종 초순수 및 케미컬의 유량을 정확히 측정하는 초정밀 면적식 유량계(Flow Meter)를 개발, 본격적인 공급에 나선다고 16일 밝혔다.

　이 유량계는 유체 접촉부 및 본체를 테플론 재질로 제작, 유독성이 강한 각종 반도체 약품 및 가스에 대한 제품 내구성을 높였으며 오차율 0.5% 이하의 초정밀 유량 제어 기능을 구현한다.

　또한 이 제품은 재질 및 용도에 따라 초고순도 유체용 유량계, 수지 재질 초순수 대유량계 등 총 4개 모델로 구성됐으며 반도체는 물론 일반 연구소 및 산업 분야의 미소 유량 측정에도 사용 가능하다.

<주상돈기자 sdjoo@etnews.co.kr>