STI, 웨이퍼 에칭시스템 수출

　반도체 장비업체인 STI(대표 노승민)는 자체 개발한 웨이퍼 에칭(Etching)시스템을 미국 반도체 웨이퍼 생산업체인 MEMC 일렉트로닉 머티리얼스사의 말레이시아 공장에 본격 수출한다.

　이번에 수출되는 에칭시스템은 화학 약품을 이용해 웨이퍼 표면을 균일하게 깎아내는 일종의 식각장치로 MEMC사도 처음 도입하는 신공정용 장비다.

　STI는 우선 2대의 에칭시스템을 오는 4월까지 MEMC 말레이시아 공장에 설치한 후 곧바로 공정 적용 테스트에 착수할 계획이며 이의 성공 여부에 따라 10대 이상의 추가 수주도 가능하다고 회사측은 설명했다.

　또한 이 회사는 박막트랜지스터 액정표시장치(TFT LCD)의 두께를 더욱 얇고 가볍게 만들 수 있는 새로운 유리식각장비도 최근 개발, 현재 일본 및 대만업체들과 구체적인 수출 협상을 진행중이라고 밝혔다.

　지난 97년 국내 반도체 설비업체인 성도엔지니어링이 장비 분야 전문 자회사로 설립한 STI는 약품 공급장치 및 웨트스테이션 등 웨이퍼 가공 설비와 마이크로BGA 및 리드프레임용 비전검사기, LCD용 유리식각장치, 카세트 세정기 등 각종 첨단 장비를 국산화한 이 분야 전문 벤처기업이다.

<주상돈기자 sdjoo@etnews.co.kr>