[화요특집-반도체.부품장비] 떠오르는 반도체장비 신기술.. SMIF 시스템

　2백56MD램 이상 차세대 반도체 제조에서부터는 현재 주로 사용되고 있는 FFU(Fan Filter Unit)나 시스템 셀링 방식의 클린룸 설비 대신 이른바 SMIF(Standard Mechanical Interface)시스템이라 불리는 국부 클린룸 설비의 도입이 확실시되고 있다.

　SMIF시스템은 전체 클린룸 설비 가운데 노광 및 에칭 등 초청정 환경이 요구되는 일부 공간만을 클라스1 이하의 초청정 상태로 유지함으로써 전체 클린룸 설비의 사용효율을 극대화하는 차세대 클린룸 설비로 각각의 핵심 반도체 장비에 부착되는 초소형 클린룸 장치(Mini Environment)와 밀폐형 웨이퍼 용기(Pod), 그리고 웨이퍼 이송용 로봇시스템 등으로 구성된다.

　지난해부터 삼성전자·현대전자·아남반도체 등 국내 주요 소자업체들이 반도체 생산비 절감과 고집적 반도체 시대에 대응한 SMIF시스템 도입을 서두르고 있으며 대만 및 싱가포르 등 동남아지역 업체들도 국부 클린룸 설비를 속속 도입하고 있다.

　이러한 시장수요 확대 분위기에 힘입어 SMIF시스템 시장을 선점키 위한 주요 반도체 장비 업체들간 개발경쟁도 본격화하고 있다. 세계 최초의 SMIF시스템 개발업체인 미국 어시스트와 독일 인팹 등 외국 업체는 물론 신성이엔지 등 국내 장비업체들도 시장공략에 가세하고 있다